อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์นั้นมีความสำคัญต่อการพัฒนาเทคโนโลยีและนวัตกรรมอย่างต่อเนื่องที่จะทำให้ชีวิตของเราเปลี่ยนไปอย่างสิ้นเชิง สมาร์ทโฟน, พีซี, อุปกรณ์การเล่นเกมและอีกมากนั้นเป็นตัวอย่างของเทคโนโลยีที่ทรงพลังและซับซ้อนที่สุดเท่าที่เคยพัฒนาขึ้นมา ซึ่งมีหัวใจคือไมโครชิปขนาดเล็ก แม้ว่าจะมีขนาดเล็ก ชิปเหล่านี้เป็นหนึ่งในอุปกรณ์ที่มีความซับซ้อนที่สุดในอุปกรณ์ทุกอย่างที่เคยมีมา และต้องใช้กระบวนการที่มีความไวสูงในขั้นตอนการผลิต
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์นั้นเป็นหนึ่งในอุตสาหกรรมที่เติบโตเร็วที่สุดของโลก โดยผลิตภัณฑ์ใหม่ๆ ต่างก็ต้องการความเร็วและสเปกที่สูงขึ้นอย่างต่อเนื่อง ซึ่งมีความจำเป็นต้องใช้ระบบจ่ายสุญญากาศที่น่าเชื่อถือและสม่ำเสมอ ต้องใช้สุญญากาศที่สะอาดและสม่ำเสมอสำหรับการทดสอบ, การถือ, การหยิบยกชิ้นงาน, การบรรจุภายในอุตสาหกรรม ดังนั้น การเลือกโซลูชั่นปั๊มสุญญากาศที่เหมาะสมจึงเป็นสิ่งสำคัญสำหรับกระบวนการผลิต
ความต้องการสุญญากาศในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ระดับสุญญากาศนั้นอยู่ระหว่าง 100 และ 400 mbar abs เพื่อให้อุปกรณ์ทุกชิ้นมีระดับที่เหมาะสม และเพื่อไม่ให้เกิดการปนเปื้อนจากการไหลย้อนกลับ โรงงานเซมิคอนดักเตอร์โดยทั่วไปนั้นอาจต้องใช้การไหลตั้งแต่ 2000 ถึง 8000 m3/h แต่โรงงานขนาดใหญ่กว่าอาจต้องการมากกว่า 12000 m3/h โรงงานที่ดำเนินงานทุกวันตลอด 24 ชั่วโมงนั้นไม่อาจสูญเสียการทำงานระบบสุญญากาศได้ ดังนั้น ระบบสำรองและความน่าเชื่อถือจึงจำเป็นอย่างยิ่ง
ปั๊มสุญญากาศที่ประหยัดพลังงานจาก Atlas Copco สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
ปั๊มสุญญากาศสกรูโรตารี่ GHS VSD⁺ ของ Atlas Copco นั้นเป็นตัวเลือกที่ได้รับความนิยมในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ นั่นก็เพราะ VSD+ นั้นเป็นมากกว่า “ตัวปรับความเร็วรอบมอเตอร์” GHS VSD+ นั้นมีตัวควบคุมตรรกะและซอฟต์แวร์ที่จะให้ระดับสุญญากาศที่สม่ำเสมอทั่วทั้งโรงงาน ปั๊มสุญญากาศอัจฉริยะของเรานั้นเป็นผู้นำนวัตกรรมที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมที่จะช่วยลดการใช้พลังงานลงเป็นอย่างมาก ซึ่งจะช่วยลดผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อม เพื่อที่จะขับเคลื่อนความยั่งยืน
Atlas Copco ยังให้บริการกลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มสุญญากาศใบพัดกรงเล็บแห้งรุ่น DZS VSD⁺ และ
Atlas Copco ยังให้บริการกลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มสุญญากาศใบพัดกรงเล็บแห้งรุ่น DZS VSD⁺ และ ปั๊มสุญญากาศวงแหวนน้ำรุ่น LRP VSD⁺ ที่ครบถ้วน การออกแบบที่ทนทานและผ่านการพิสูจน์แล้วของเครื่องเหล่านี้ทำให้เหมาะกับโรงงานขนาดเล็ก เพื่อทดแทนปั๊มที่มีอยู่โดยตรง หรือในกรณีที่ให้ความสำคัญกับราคาซื้อที่ถูกลงมากกว่าที่จะคำนึงถึงต้นทุนตลอดอายุการใช้งานทั้งหมด ช่วงความจุและเทคโนโลยี VSD⁺ ของปั๊มสุญญากาศทั้งหมดของ Atlas Copco หมายความว่าเครื่องเหล่านี้เหมาะกับระบบสุญญากาศกลาง รวมไปถึงระบบสุญญากาศที่พบได้ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์
คุณประโยชน์ของระบบเก็บน้ำมันอันเป็นนวัตกรรมของ Atlas Copco
ในเครือข่ายระบบสุญญากาศ โมเลกุลอากาศจะเดินทางตามทิศทางของปั๊มสุญญากาศ และที่ระดับของสุญญากาศที่ออกแบบมานั้น จะยังให้ความหนาแน่นของการไหลที่เหมาะสม ด้วยเหตุนี้ จึงทำให้โมเลกุลน้ำมันและความชื้นไม่สามารถเดินทางเข้าสู่กระบวนการ ปั๊มสุญญากาศจึงมักตั้งอยู่ไกลจากโถงผลิตอยู่ภายในห้องเอนกประสงค์เฉพาะ ซึ่งจะช่วยให้สามารถเลือกเทคโนโลยีของปั๊มได้อย่างอิสระโดยไม่ต้องกังวลเกี่ยวกับการปนเปื้อนของไฮโดรคาร์บอนภายในเครือข่าย ควรให้ความใส่ใจกับสภาพแวดล้อมที่ฝั่งทางออกของปั๊มสุญญากาศ
ปั๊มสุญญากาศ Atlas Copco เช่น
ปั๊มสุญญากาศ Atlas Copco เช่น กลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มสุญญากาศสกรูโรตารี่ GHS VSD+ นั้นมีระบบเก็บกักน้ำมันที่เหนือกว่า ถ้าต้องการ สามารถติดตั้งระบบการกรองเพิ่มเติมได้ที่ไอเสียของปั๊ม เพื่อให้แน่ใจว่าจะไม่เกิดความปนเปื้อนต่อบรรยากาศ และระบบการไหลเวียน/การกรองอากาศที่ซับซ้อนที่อยู่รอบๆ โรงงาน
ถ้าต้องการปั๊มสุญญากาศเทคโนโลยีแบบแห้งที่ได้รับการรับรอง Class 0 Atlas Copco ขอนำเสนอผลิตภัณฑ์ นั้นมีระบบเก็บกักน้ำมันที่เหนือกว่า ถ้าต้องการ สามารถติดตั้งระบบการกรองเพิ่มเติมได้ที่ไอเสียของปั๊ม เพื่อให้แน่ใจว่าจะไม่เกิดความปนเปื้อนต่อบรรยากาศ และระบบการไหลเวียน/การกรองอากาศที่ซับซ้อนที่อยู่รอบๆ โรงงาน
ถ้าต้องการปั๊มสุญญากาศเทคโนโลยีแบบแห้งที่ได้รับการรับรอง Class 0 Atlas Copco ขอนำเสนอผลิตภัณฑ์
ปั๊มสุญญากาศ Atlas Copco เช่น กลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มสุญญากาศสกรูโรตารี่ GHS VSD+ นั้นมีระบบเก็บกักน้ำมันที่เหนือกว่า ถ้าต้องการ สามารถติดตั้งระบบการกรองเพิ่มเติมได้ที่ไอเสียของปั๊ม เพื่อให้แน่ใจว่าจะไม่เกิดความปนเปื้อนต่อบรรยากาศ และระบบการไหลเวียน/การกรองอากาศที่ซับซ้อนที่อยู่รอบๆ โรงงาน
ถ้าต้องการปั๊มสุญญากาศเทคโนโลยีแบบแห้งที่ได้รับการรับรอง Class 0 Atlas Copco ขอนำเสนอผลิตภัณฑ์ นั้นมีระบบเก็บกักน้ำมันที่เหนือกว่า ถ้าต้องการ สามารถติดตั้งระบบการกรองเพิ่มเติมได้ที่ไอเสียของปั๊ม เพื่อให้แน่ใจว่าจะไม่เกิดความปนเปื้อนต่อบรรยากาศ และระบบการไหลเวียน/การกรองอากาศที่ซับซ้อนที่อยู่รอบๆ โรงงาน
ถ้าต้องการปั๊มสุญญากาศเทคโนโลยีแบบแห้งที่ได้รับการรับรอง Class 0 Atlas Copco ขอนำเสนอผลิตภัณฑ์ ปั๊มสุญญากาศใบพัดกรงเล็บแบบแห้ง DZS VSD+
ให้ระดับสุญญากาศที่สม่ำเสมอ
เดิมทีนั้น โรงงานเซมิคอนดักเตอร์เคยมีปัญหากับระบบสุญญากาศจากความผันผวนของระดับสุญญากาศในปริมาณมาก ปั๊มแบบปกติจะมีประสิทธิภาพที่เสื่อมลงจากความสึกหรอและสภาวะแวดล้อม เช่น อุณหภูมิที่ผันแปร
สกรูโรตารี่ชนิดหล่อลื่นด้วยน้ำมัน GHS VSD+ ของ Atlas Copco นันถูกออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่เสมอต้นเสมอปลายในทุกสภาพแวดลอม ตอบสนองได้ทุกความเร็วที่กระบวนการต้องใช้ เครื่องรุ่นนี้มาพร้อมกับเทคโนโลยี VSD+ ของ Atlas Copco, GHS VSD+ จะปรับความเร็วโดยอัตโนมัติให้สัมพันธ์กับความต้องการสุญญากาศที่แปรผัน จึงช่วยรักษาไว้ซึ่งจุดที่ตั้งไว้ด้วยประสิทธิภาพสูงสุด