هواء نظيف وجاف (CDA) لصناعة أشباه الموصلات
كل ما تحتاج إلى معرفته عن الهواء النظيف والجاف (CDA)
ما المقصود بالهواء النظيف والجاف (CDA)؟
يشير الاختصار CDA إلى الهواء النظيف والجاف، وهو معيار لجودة الهواء المضغوط
يشير الاختصار CDA إلى الهواء النظيف والجاف، وهو معيار لجودة الهواء المضغوط
يشير الاختصار CDA إلى الهواء النظيف والجاف، وهو معيار لجودة الهواء المضغوط
يشير الاختصار CDA إلى الهواء النظيف والجاف، وهو معيار لجودة الهواء المضغوط في صناعة أشباه الموصلات. وتتجاوز مستويات
يشير الاختصار CDA إلى الهواء النظيف والجاف، وهو معيار لجودة الهواء المضغوط
يشير الاختصار CDA إلى الهواء النظيف والجاف، وهو معيار لجودة الهواء المضغوط
يشير الاختصار CDA إلى الهواء النظيف والجاف، وهو معيار لجودة الهواء المضغوط في صناعة أشباه الموصلات. وتتجاوز مستويات
يشير الاختصار CDA إلى الهواء النظيف والجاف، وهو معيار لجودة الهواء المضغوط في صناعة أشباه الموصلات. وتتجاوز مستويات
يشير الاختصار CDA إلى الهواء النظيف والجاف، وهو معيار لجودة الهواء المضغوط
يشير الاختصار CDA إلى الهواء النظيف والجاف، وهو معيار لجودة الهواء المضغوط في صناعة أشباه الموصلات. وتتجاوز مستويات
يشير الاختصار CDA إلى الهواء النظيف والجاف، وهو معيار لجودة الهواء المضغوط في صناعة أشباه الموصلات. وتتجاوز مستويات جودة الهواء المطلوبة في هذا القطاع مستويات معظم التطبيقات الأخرى. لسبب وجيه هو أنه لا توجد أي صناعة أخرى يمكن أن يؤدي فيها التلوث إلى مثل هذه العواقب المدمرة والمكلفة.
إضافة إلى ذلك، في حين تتطلب بعض التطبيقات هواءً مضغوطًا جافًا أو خاليًا من الغبار أو الزيت، في صناعة أشباه الموصلات، يجب أن تجتمع هذه الخصائص الثلاث كلها. ذلك لأن وجود أي رطوبة أو جسيمات/غبار أو زيت في غرفة التنظيف يمكن أن يخرب مجموعة كاملة من أشباه الموصلات، والأهم من ذلك، مكونات الفولاذ المقاوم للصدأ في الآلات التي تنتجها. وقد يكلف ذلك ملايين اليوروهات والدولارات. لذلك، تُعَدّ جودة الهواء أمرًا ضروريًا، كما أن الإمداد الموثوق به للهواء النظيف والجاف أمر بالغ الأهمية.
الهواء النظيف والجاف وفقَ المعيار ISO 8573-1:2010
إذن، إلى أي مدى يجب أن يكون الهواء نظيفًا وجافًا؟
يجب أن يفي
يجب أن يفي
يجب أن يفي
يجب أن يفي بمتطلبات Class 0 من المعيار ISO 8573-1:2010، وهو المعيار الدولي لفئات جودة الهواء.
يحدد هذا المعيار مقدار أي نوع من أنواع الملوثات الثلاثة التي قد يحتوي عليها الهواء. وكلما قل رقم الفئة، ارتفعت جودة الهواء. لذلك، تعني Class 0 أقل درجة تلوث ممكنة.
ولتلبية متطلبات غرفة التنظيف في إنتاج أشباه الموصلات، يجب أن يصل الهواء إلى جودة Class 0 للرطوبة والزيت والغبار.
كيف يمكن الوصول إلى Class 0 للرطوبة والزيت والغبار؟
- يبدأ كل شيء باختيار ضاغط الهواء الصحيح. إن الاستثمار في ضاغط خالٍ من الزيت يعني أن منتجي أشباه الموصلات ليس عليهم القلق بشأن أحد الملوثات بعد الآن.
- بعد ذلك، تزيل الفلاتر الغبار أو الجسيمات الأخرى من الهواء المضغوط وتبقيها خارج غرف التنظيف. ستحتاج إلى عديد من الفلاتر للوصول إلى Class 0.
هذا من شأنه الوفاء بجزء "النظيف"، لكن ماذا عن "الجاف"؟ هل سيتخلص هذا من خطر التآكل"؟
- للوفاء بهذا الجزء، ستحتاج إلى مجفف عالي الأداء يمكنه الوصول إلى نقطة تكاثف الضغط (PDP) أقل من 70 درجة مئوية. ويمكن تحقيق هذا النوع من نقطة تكاثف الضغط باستخدام مجفف امتزازي. ومجففات المادة المُجفِّفة هذه هي الخيار الأمثل لتوفير هواء جاف للغاية للتطبيقات الحرجة.
إعداد تجهيزات نظام هواء مضغوط نظيف وجاف
لكن كيف يتعين إعداد تجهيزات نظام الهواء النظيف والجاف النموذجية لمنع دخول الملوثات إلى غرفة التنظيف وتحقيق جودة ثلاثية من الفئة 0؟
- يأتي أولاً دور الضاغط الخالي من الزيت. ولأن إنتاج أشباه الموصلات يتطلب قدرًا كبيرًا من الطاقة، من المنطقي الاستثمار في طراز يتسم بالكفاءة في استخدام الطاقة، ما قد يؤدي إلى خفض تكاليف التشغيل بشكل كبير.
- ثم يأتي الفلتر الأولي وتتمثل مهمته في التقاط معظم الجسيمات في الهواء المضغوط. وبهذه الطريقة، يكون الهواء الذي يصل إلى المجفف أكثر نظافة بالفعل، ما يساعد في تقليل الاحتياج إلى الصيانة. في حين أن مجفف الامتزاز يؤدي دورًا رائعًا في تجفيف الهواء، فقد ينتج عنه بعض الغبار من المادة المجففة. وبالتالي، يتم توجيه الهواء المجفف حديثًا عبر مرشحَين لاحقَين يعملان على تنقية الهواء من الغبار المجفف وتطهير الهواء بشكل أكبر.
- في هذه المرحلة، لا يتبقى سوى أصغر الجسيمات. والآن، لا يتعين مرور الهواء سوى خلال فلتر واحد آخر. عادة ما يكون فلترًا بغشاء من بولي رباعي فلورو الإيثيلين (PTFE) يستخدم تقنية تنقية السطح لالتقاط الجسيمات بحجم يصل إلى 0,01 ميكرومتر.
بعد هذه الخطوة الأخيرة، يمكن الآن استخدام الهواء النظيف والجاف في بيئة نظيفة من دون تعريض عملية إنتاج أشباه الموصلات للخطر.